С гелиевым течеискателем и аналогичным спиртовым методом знакомы?..
Знаком, хотя вместо спирта предпочитаю ацетон.
а ацетон чем лучше?
Он сам через прокладки не пролазит?..
Спирт-то чем хорош - хорошо смачивает все и везде лезет во все щели,
но при этом по активности он почти как вода.
А вот если ацетон на оргстекло или поликарбонат попадет...
(впрочем гидролизный спирт с примесями тоже дает "спецэффекты"
)
Тут я вас неправильно понял... Вы хотите заменить фотолитографию на электронный луч. Тогда вопросов особых нет.
ну в принципе да, но если поэкспериментировать то может и от резиста избавиться удастся, есть такая вероятость...
Ну-да, ну-да.... Только вот как показывает практика, камера "все в одном" дает заметно бОльшую дефектность, чем схема "один процесс - одна камера".
Не понимаю вашего утверждения и про пыль... Иначе зачем такие потуги ради безмаслянного вакуума, чистых помещений и шлюзовых машин (а то и кластеров).
ну им-то план надо гнать - я им сочувствую
Вы размеры получившихся полупроводников видели?
а что там с размерами?..
2-3 процессора вполне влезет, а больше не сильно-то и надо...
(хотя можно и большое поле делать вплоть до стандартных пластин размером)
Ну и, потом, фишка технологии в том что ей вообще пофиг размер обломка(заготовки)...
(если не лень то можно на репрапе и детали роботов и кассеты напечатать - типа загрузил кг и нед пусть пашет
)
Там самые интересные фишки именно в качестве кремния и методах обхода дефектов...
Цены конечно смешные. Но вакуум будет все равно масляный (да, масло в них не рабочая среда, как в диффах, но для смазки оно там присутствует и летит в вакуум).
форвакуум - да конечно, он всегда маслянный.
Но после него (точнее перед) стоит же еще молекулярник где все чисто...
В камере можно при желании вообще сделать самоочистку плазмой разряда, например.
Кстати формулу ресурса подшипника от нагрузки наизусть помните?
А сколько турбомолекулярник на см2 сосет?
)...
Не помню, для этого есть справочник.
1 литр/мин на 50кв.см.
2 л/с на см2 - прямо black hole получается
(как в трубопроводах почти - что залетело в дупло тому все ппц уже не вылетает назад
)
А без азотной ловушки сможете эту проблему решить?..
Поставить сухой спиральный насос.
спиральный это механический объемный как в кондиционерах чтоли?..
Проще молекулярник обычный - тупо "спиралька"-лабиринт и диск сверху быстро крутиться,
такой насос за 1 ступень заменяет десятки ступеней-турбин осевого насоса - каждый виток спирали
фактически как ступень работает же... Дешево и сердито в общем, мой любимый короче,
хоть и сосет чуть меньше осевого, зато простой и маленький...
Да, и подшипник(если есть) у него стоит уже на выходе и может смазываться чем угодно.
а вот дальше мне проще турбомолекулярник(из консервной банки просто рулез
),
Вот японцы-то лохи! Какие-то нержавеющие корпуса... магнитный подвес ротора...
А надо всего навсего купить банку тушенки в магазине - и вот он, почти турбомолекулярный насос!
никогда не понимал зачем в вакууме нержавейка - там и железо не ржавеет, вообще...
А банку лучше сгущенки потрошить - луженая жесть отлично паяется прямо паяльником,
диск можно и из фольгированного текстолита забабахать, как раз медь сверху это хорошо чтоб текстолит не вонял...
(и да кстати скорости там уже до км/с выдерживает, что для молекулярника весьма кстати, в принципе даже водород уже неплохо сосать начинает на таких скоростях...)
Vladimir
PS раньше с магнитной подвеской заморачивался - но нынче проще тупо взять керамический шарикоподшипник,
их уже и достать легче стало тк японцы почти все заводы перевели на выпуск керамики...