пока не заметил
С гелиевым течеискателем и аналогичным спиртовым методом знакомы?..
а, это... Это ничего, потому как на частоте 250 МГц луч проходит точку всего 4 нс - успеть бы вообще засветить,
а если бы еще от электронорезиста отказаться, то и ваще бы лафа и халява...
точно. И еще много чего - травление, очистка, отжиг(активация примесей)...
какие-то не правильные у вас вопросы, совсем...
Правильный вопрос будет такой: "сколько стоит чистое помещение, и нах мне дома HEPA"...
Отвечаю: чистые помещения нах не нужны, поскольку пыть в вакууме не живет - а засунуть все
техпроцессы в одну вакуумную бочку куда проще, чем возиться с фильтрами...
лично я предпочитаю ионное легирование и лазерный термический отжиг, хотя это дело вкуса,
вот одна американская дефчонка дома обычную диффузию делает, пока тут некоторые специалисты говорят о проблемах
http://www.youtube.com/watch?v=eFzsyQOTXbM
Да, и РЭМ тоже домой притащила...
http://www.youtube.com/watch?v=hv9OFjzFnTs
У американов свои понятия о домашнем оборудовании )
ну вообще-то я брал на базаре за 400 руб, 2-ступенчатый роторный форвакуум, переносной(чуть меньше чем 5НВР, 3НВР кажеться, уже точно не помню - будете долго смеяться, но раньше холодильщики с такими на ремонты холодильников на дому ездили, их довольно много оказалось в городе в орг не связанных с наукой)
Мой друг в фирме заказал за 420$ фирменный новый - но он оказался 1-ступенчатым(впрочем на откачку трубопроводов кондиционеров хватает и этого - но зацените наши-то даже холодильники раньше 2-ступенчатым откачивали, в СССР похоже легче спутник найти чем унитаз ) )
А вообще-то насос на 1 л/с делается из 1 см3 роторного механизма(кстати сможете придумать простую конструкцию чтобы можно было сделать "на коленке"?) и моторчика на 60000 оборотов - параметры одной знакомой железки, без разгона...
(правда там ресурс был 340 часов всего, но оно было на втулках даже без подшипников и с толстый фломастер размером - кстати для откачки камеры ему всего неск сек надо работать на макс оборотах, потом можно снизить...
Кстати формулу ресурса подшипника от нагрузки наизусть помните?
А сколько турбомолекулярник на см2 сосет? )...
упс... А вот и первая умная мысль
А без азотной ловушки сможете эту проблему решить?..
лично я ни масло, ни азотные ловушки не люблю...
Форвакуммник проще обычный роторный(но оборотов можно подкинуть),
а вот дальше мне проще турбомолекулярник(из консервной банки просто рулез ),
хотя любители секса могут и с азотной ловушкой и диффузионником потрахаться...
ну лохам я и сам могу дороже продать
(но это не значит что себе я не сделаю из чугунной сковородки, бесплатно ) )
Vladimir
PS сможете насос грубокого вакуума сделать чтобы за 1 ступень на десяток порядков откачивал?..
(да-да, спаралька с "крышкой", и вообще tda-шка от шпинделя HDD рулез, кстати весь насос тоже с винт размером )
PPS а вот интересно, разряд с титановым электродом вместо насоса догадались бы сделать?